粉体除去でお困りなら ECO-TRAPPER 粉体除去機器 / 低コストをお望みなら ECO-SCRUBBER 排ガス除害装置

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AP-CVD/R-101
PE-CVD/TEOS/ R-101
LP-CVD/ R-301
Metal Etcher/ R-401
D/Ech＋エレメント交換
Implant＋エレメント交換
CVD＋乾式除害剤交換
D/Ech＋乾式薬剤交換

















ＥＣＯ－ＰＡＣⅠは、御気軽にご使用頂ける耐蝕性に優れた熱成形フィルターです。
ＥＣＯ－ＰＡＣⅢは、粉体剥離性に優れています。
ご用途に合わせて選定します。


エコパック・フィルター・エレメント　標準品一覧　
ECO-PAＣ Ⅰ 薬品耐蝕性・熱成形単層構造品
E-21 　ショート・低密度タイプ　/　180φ×88φ×130H　/　エッチャー推奨品
E-23 　ショート・高密度タイプ　/　180φ×88φ×130H　/　インプラ推奨品
E-31 　ロング・低密度タイプ　/　180φ×88φ×260H　/　エッチャー推奨品
E-33 　ロング・高密度タイプ　/　180φ×88φ×260H　/　インプラ推奨品
ECO-PAC Ⅲ 耐蝕性・三層構造品
E-213 　ショート・低密度タイプ　/　180φ×88φ×130H　/　エッチャー推奨品
E-233 　ショート・高密度タイプ　/　180φ×88φ×130H　/　インプラ推奨品
E-313 　ロング・高密度タイプ　/　180φ×88φ×260H　/　エッチャー推奨品
E-333 　ロング・高密度タイプ　/　180φ×88φ×260H　/　インプラ推奨品

注１） 上表の標準品以外にも各種フィルターをご用意しています。
注２） 当社のフィルター・エレメントは、互換性に富み、他社のフィルターハウジングにも汎用性を発揮します。
注３） ＥＣＯ－ＰＡＣフィルターで交換サイクルが６か月未満の場合には、弊社ＥＣＯ－ＴＲＡＰＰＥＲシリーズのご採用をお薦めします。




エコパック・ラウンド・フィルター・エレメント 型式
エコトラッパー　Ｒ－１０１用 １０１ＦＥ
エコトラッパー　Ｒ－３０１用 ３０１ＦＥ
エコトラッパー　Ｒ－４０１用 ４０１ＦＥ
エコトラッパー　Ｒ－５０１用 ５０１ＦＥ
エコトラッパー　Ｒ－６０１用 ６０１ＦＥ



エコパック・クリーナー・フィルター・エレメント 型式
エコパック・クリーナー　ＶＣ－３５Ｌ ３５Ｆ
エコパック・クリーナー　ＶＣ－５０Ｌ ５０Ｆ
エコパック・クリーナー　ＶＣＢ－５０Ｌ ５０Ｆ
エコパック・クリーナー　ＶＣ－１００Ｌ １００Ｆ





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