日本エコサイエンス株式会社

粉体除去でお困りなら ECO-TRAPPER 粉体除去機器 / 低コストをお望みなら ECO-SCRUBBER 排ガス除害装置

	AP-CVD/R-101
	PE-CVD/TEOS/ R-101
	LP-CVD/ R-301
	Metal Etcher/ R-401
	D/Ech＋エレメント交換
	Implant＋エレメント交換
	CVD＋乾式除害剤交換
	D/Ech＋乾式薬剤交換

	実例 1　：　T社　/　AP-CVD　/　SiH4　/　R-101
	【改善前排気ライン】フィルター　：　内臓フィルター乾式除害装置　：　TT社製【改善後排気ライン】フィルター　：　JESCO製　エコトラッパー　R-101 乾式除害装置　：　TT社製

乾式除害装置に内蔵されたフィルター方式はメンテ頻度が多く、その上メンテ費も高価でした。そこで当社のエコトラッパーＲ－１０１をご採用いただき、費用対効果は、12か月で償却しました。このようにして粉体問題を解消し、同時にランニングコストを1/10に低減しました。

	実例 2　：　R社　/　PE-CVD　/　TEOS　/　R-101
	【改善前排気ライン】真空ポンプ　：　EBARA製フィルター　：　T社製　渦巻きフィルター熱分解式電熱型除害装置　：　KT社製【改善後排気ライン】真空ポンプ　：　EBARA製フィルター　：　JESCO製　エコトラッパー　R-101 熱分解式電熱型除害装置　：　KT社製

TEOSの場合、アルコールを含んだ副生成物体のため、粘性が強く、他社の渦巻きフィルターではメンテナンス頻度が極めて多くなり使用に耐えませんでした。当社のエコトラッパーR-101を採用することにより、費用対効果は、15か月で消却できました。粉体問題を解消するだけでなく、その後のランニングコストを低減1/6に低減しました。同時に後段の電熱型除害装置のヒーター切れやオートクリーニング頻度を半減させました。

	実例３　：　T社　/　LP-CVD　/　R-301
	【改善前排気ライン】真空ポンプ　：　EBARA製フィルター　：　T社製　渦巻きフィルター乾式除害装置　：　CT社製【改善後排気ライン】真空ポンプ　：　EBARA社製フィルター　：　JESCO製　エコトラッパー　R-101 乾式除害装置　：　CT社製

他社の渦巻きフィルターではメンテナンス頻度が多く、またメンテ費も高価で負担となっていました。当社のエコトラッパーＲ－３０１を採用することにより、費用対効果は、1２か月で償却できました。粉体問題を解消するだけでなく、その後のランニングコストを1/6に低減しました。R-301のフィルター交換メンテは、1回/年で大幅なコスト・リダクションを実現しました。

	実例４　：　T社　/　Al-Etcher　/　R-４01
	【改善前排気ライン】真空ポンプ　：　EBARA製フィルター　：　T社製　熱成形フィルター乾式除害装置　：　SD社製【改善後排気ライン】真空ポンプ　：　EBARA製フィルター　：　当社製　エコトラッパー　R-401 乾式除害装置　：　SD社製

乾式除害吸着筒内で粉体による吸着剤の目詰まりを起こし、ドライポンプの排圧異常により装置停止することがしばしば発生しました。他社の熱成形フィルターを使用されていましたが、寿命が短い上にメンテ費も安くなかったこともあり、改善テーマに上がりました。

	実例５　：　R社　/　Dry Etcher　/　ECO-PAC Ⅲ エレメント交換
	【改善前排気ライン】真空ポンプ　：　EBARA製フィルター　：　T社製　成形フィルター乾式除害装置　：　SD社製【改善後排気ライン】真空ポンプ　：　EBARA製フィルター　：　当社製　エコ・パックⅢ 乾式除害装置　：　SD社製

	他社製のフィルターハウジングにも互換性を有していますので、フィルターエレメントのみのご用命も承りますのでエコパック　エレメントⅠ、Ⅲをご愛用ください。ランニングコストを最大50％低減しました。
	50% 削減

	実例６　：　R社　/　Implant　/　ECO-PAC エレメント交換
	【改善前排気ライン】真空ポンプ　：　EBARA製フィルター　：　T社製　成形フィルター乾式除害装置　：　SD社製【改善後排気ライン】真空ポンプ　：　EBARA製フィルター　：　当社製　エコ・パック乾式除害装置　：　SD社製

	他社製のフィルターハウジングにも互換性を有していますので、フィルターエレメントのみのご用命も承りますのでエコパック　エレメントⅠ、Ⅲをご愛用ください。ランニングコストを最大50％低減しました。
	50% 削減

	実例７　：　T社/AP-CVD/乾式除害装置/薬剤交換費
	【改善前排気ライン】真空ポンプ　：　EBARA製フィルター　：　TT社製　内臓フィルター乾式除害装置　：　TT社製薬剤　：　TT社製吸着剤【改善後排気ライン】真空ポンプ　：　EBARA製フィルター　：　TT社製　内臓フィルター乾式除害装置　：　TT社製薬剤　：　当社製吸着剤　JESCO-1

	各種プロセスに対応する当社配合薬剤を取り揃えております。
	30% 削減

	実例 8　：　T社/Dry Etcher/乾式除害吸着筒/薬剤交換費
	【改善前排気ライン】真空ポンプ　：　EBARA製フィルター　：　なし乾式除害装置　：　S社製薬剤　：　S社製吸着剤【改善後排気ライン】真空ポンプ　：　EBARA製フィルター　：　なし乾式除害装置　：　S社製薬剤　：　当社製吸着剤　JESCO-３

	各種プロセスに対応する当社配合薬剤を取り揃えております。
	30% 削減

AP-CVD/R-1０１	／PE-CVD/TEOS/ R-1０１	／LP-CVD/ R-3０１	／Metal Etcher/ R-4０１
D/Ech＋エレメント交換	／Implant＋エレメント交換	／CVD + 乾式除害剤交換	／D/Ech + 乾式除害剤交換