粉体除去でお困りなら ECO-TRAPPER 粉体除去機器 / 低コストをお望みなら ECO-SCRUBBER 排ガス除害装置

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AP-CVD/R-101
PE-CVD/TEOS/ R-101
LP-CVD/ R-301
Metal Etcher/ R-401
D/Ech+エレメント交換
Implant+エレメント交換
CVD+乾式除害剤交換
D/Ech+乾式薬剤交換

















ダイレクトヒーター式のホットN2発生器


ヒーター部は、排気配管にダイレクトに接続します。高温の窒素ガスは、温度ロスが少なく、設定温度で思い通りの効果を得ることができます。



HFなどの腐食性ガスの通る排気配管に最適


耐腐食性が高く、併せて粉体剥離性にも優れています。
また、従来、フッ素コーティングは高価でしたが、比較的廉価にてご提供できるようになりました。



クリーニングガス・プロセスガス分離用切替ユニット


本ユニットにてバルブ切替制御を行います。
排気配管工事をはじめ粉体閉塞や腐食対策を含めてトータルコーディネートいたします。



ECO-PAC CLEANER VCシリー


クリーンルーム内でセントラルバキューム源を動力源とするフィルタータンク式掃除機です。
VC-100L、VC-50L、VC-35Lの三機種をラインアップしました。



ECO-PAC CLEANER VCBシリーズ


セントラルバキューム設備のないエリアまたはクリーンルーム外でのご使用を目的にした掃除機です。ブロアー内臓のバキューム発生部とフィルタータンク部により構成されます。50リッタータイプのVCB−50Lは、強力な吸引力を発生します。



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