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CVD用乾式除害装置 DC-3000WT-V |
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【フルオート コントロール 仕様】
・全自動乾式除害装置
・粉体除去全自動クリーニングシステム
・ダブルライン全自動切換式
・大型液晶タッチパネル操作盤
保全ご担当者は、
破過した吸着筒の薬剤交換依頼・クリーニングシステム掃除機再生依頼をして頂くだけです。
ランニングコストが安価で環境にもやさしい乾式除害装置です。
お客様の使用環境に合わせたカスタマイズが可能です。
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CVD用乾式除害装置 DCＦ-3000WT-V |
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プロセスガスとＨＣＬなどのクリーニングガスを分離して2系統同時除害します。 |
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CVD用乾式除害装置 DC-1000T / DC-1000TS / DC-1000F |
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小排気量タイプの乾式除害装置です。 |
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バックアップ用乾式除害装置 DBP-1000 |
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熱分解式除害装置などのバックアップ用緊急除害装置です。 |
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インプラ用乾式除害装置 DIP-500Ｓ |
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吸着筒とフィルター/ECO-PACがコンパクトに一体化されています。
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ドライエッチャー用乾式除害装置 DDEシリーズ
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筐体ボックスタイプと筐体無しのネイキッドタイプを設定しています。
お客様のご要求次第でカスタマイズが可能です。
イニシャルコストと併せてランニングコストの低減を実現します。
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緊急除害用乾式除害装置 |
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緊急除害用除害装置のカスタマイズにもお応えします。 |
