CVD用粉体除去装置として定評のエコトラッパーR-101の基礎技術をベースにして比較的粉体生成量の少ないCVDやメタルエッチャー用としてラウンドブラシ式エコトラッパー ミニをお勧めします。
エコトラッパー ミニ R-301は、設置スペースに限られた既存ラインにもマッチします。排気システムの自由設計に適したネイキッド・タイプと完成型の筐体入りコンポジット・タイプの2種がラインアップしています。
ラウンドブラシ式は、固定された円筒フィルターの外周を回転して、円筒フィルター表面に生成した粉体を掻き落します。エコトラッパー ミニの円筒フィルターは、三層構造になっており、最外周層は、粉体剥離性に優れており、ラウンドブラシと相まって圧力損失を低減して適性値に保持します。掻き落された粉体は、底部に設けられた粉体溜り部に堆積します。サクションポートからバキュームクリーナーを使用して繰り返し吸引クリーニングすることができます。円筒フィルターは、SiO2粉体の場合で1回/年の標準再生頻度となります。
|