日本エコサイエンス株式会社

粉体除去でお困りなら ECO-TRAPPER 粉体除去機器 / 低コストをお望みなら ECO-SCRUBBER 排ガス除害装置

	AP-CVD/R-101
	PE-CVD/TEOS/ R-101
	LP-CVD/ R-301
	Metal Etcher/ R-401
	D/Ech＋エレメント交換
	Implant＋エレメント交換
	CVD＋乾式除害剤交換
	D/Ech＋乾式薬剤交換

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	実例 2　：　R社　/　PE-CVD　/　TEOS　/　R-101
	【改善前排気ライン】真空ポンプ　：　荏原製作所製フィルター　：　T社製　渦巻きフィルター熱分解式電熱型除害装置　：　カンケンテクノ製【改善後排気ライン】真空ポンプ　：　荏原製作所製フィルター　：　JESCO製　エコトラッパー　R-101 熱分解式電熱型除害装置　：　カンケンテクノ製

ＴＥＯＳの場合、アルコールを含んだ副生成物体のため、粘性が強く、他社の渦巻きフィルターではメンテナンス頻度が極めて多くなり使用に耐えませんでした。当社のエコトラッパーＲ－１０１を採用することにより、費用対効果は、15か月で消却できました。粉体問題を解消するだけでなく、その後のランニングコストを低減1/6に低減しました。同時に後段の電熱型除害装置のヒーター切れやオートクリーニングの頻度を低減させ、総合的なコスト・リダクション効果を、大きなものとしました。

AP-CVD/R-1０１	／PE-CVD/TEOS/ R-1０１	／LP-CVD/ R-3０１	／Metal Etcher/ R-4０１
D/Ech＋エレメント交換	／Implant＋エレメント交換	／CVD + 乾式除害剤交換	／D/Ech + 乾式除害剤交換