日本エコサイエンス株式会社

粉体除去でお困りなら ECO-TRAPPER 粉体除去機器 / 低コストをお望みなら ECO-SCRUBBER 排ガス除害装置

	実例５　：　R社　/　Dry Etcher　/　ECO-PAC Ⅲ エレメント交換
	【改善前排気ライン】真空ポンプ　：　荏原製フィルター　：　T社製　成形フィルター乾式除害装置　：　昭電製【改善後排気ライン】真空ポンプ　：　荏原製フィルター　：　当社製　エコ・パックⅢ 乾式除害装置　：　昭電製

	他社製のフィルターハウジングにも互換性を有していますので、フィルターエレメントのみのご用命も承りますのでエコパック　エレメントⅠ、Ⅲをご愛用ください。ランニングコストを最大50％低減します。
	50% 削減

AP-CVD/R-1０１	／PE-CVD/TEOS/ R-1０１	／LP-CVD/ R-3０１	／Metal Etcher/ R-4０１
D/Ech＋エレメント交換	／Implant＋エレメント交換	／CVD + 乾式除害剤交換	／D/Ech + 乾式除害剤交換