日本エコサイエンス株式会社

粉体除去でお困りなら ECO-TRAPPER 粉体除去機器 / 低コストをお望みなら ECO-SCRUBBER 排ガス除害装置

	AP-CVD/R-101
	PE-CVD/TEOS/ R-101
	LP-CVD/ R-301
	Metal Etcher/ R-401
	D/Ech＋エレメント交換
	Implant＋エレメント交換
	CVD＋乾式除害剤交換
	D/Ech＋乾式薬剤交換

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	実例３　：　T社　/　LP-CVD　/　R-301
	【改善前排気ライン】真空ポンプ　：　荏原製作所製フィルター　：　T社製　渦巻きフィルター乾式除害装置　：　クリーンテクノ製【改善後排気ライン】真空ポンプ　：　荏原製作所製フィルター　：　JESCO製　エコトラッパー　R-101 乾式除害装置　：　クリーンテクノ製

他社の渦巻きフィルターではメンテナンス頻度が多く、またメンテ費も高価で負担となっていました。当社のエコトラッパーＲ－３０１を採用することにより、費用対効果は、1２か月で償却できました。粉体問題を解消するだけでなく、その後のランニングコストを1/6に低減しました。R-301のフィルター交換メンテは、1回/年で大幅なコスト・リダクションを実現しました。

AP-CVD/R-1０１	／PE-CVD/TEOS/ R-1０１	／LP-CVD/ R-3０１	／Metal Etcher/ R-4０１
D/Ech＋エレメント交換	／Implant＋エレメント交換	／CVD + 乾式除害剤交換	／D/Ech + 乾式除害剤交換