粉体除去でお困りなら ECO-TRAPPER 粉体除去機器 / 低コストをお望みなら ECO-SCRUBBER 排ガス除害装置 AP-CVD/R-101 PE-CVD/TEOS/ R-101 LP-CVD/ R-301 Metal Etcher/ R-401 D/Ech＋エレメント交換 Implant＋エレメント交換 CVD＋乾式除害剤交換 D/Ech＋乾式薬剤交換 製品ラインアップ.pdf へのリンク 実例 8　：　T社/Dry Etcher/乾式除害吸着筒/薬剤交換費 【改善前 排気ライン】 真空ポンプ　：　荏原製 フィルター　：　なし 乾式除害装置　：　S社製 薬剤　：　S社製吸着剤 【改善後 排気ライン】 真空ポンプ　：　荏原製 フィルター　：　なし 乾式除害装置　：　S社製 薬剤　：　当社製吸着剤　JESCO-３ 各種プロセスに対応する当社配合薬剤を取り揃えております。 50% 削減 AP-CVD/R-1０１ ／PE-CVD/TEOS/ R-1０１ ／LP-CVD/ R-3０１ ／Metal Etcher/ R-4０１ D/Ech＋エレメント交換 ／Implant＋エレメント交換 ／CVD + 乾式除害剤交換 ／D/Ech + 乾式除害剤交換

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