粉体除去でお困りなら ECO-TRAPPER 粉体除去機器 / 低コストをお望みなら ECO-SCRUBBER 排ガス除害装置

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AP-CVD/R-101
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D/Ech＋エレメント交換
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実例６　：　R社　/　Implant　/　ECO-PAC エレメント交換
【改善前 排気ライン】
真空ポンプ　：　荏原製
フィルター　：　T社製　成形フィルター
乾式除害装置　：　昭電製

【改善後 排気ライン】
真空ポンプ　：　荏原製
フィルター　：　当社製　エコ・パック
乾式除害装置　：　昭電製



他社製のフィルターハウジングにも互換性を有していますので、フィルターエレメントのみのご用命も承りますのでエコパック　エレメントⅠ、Ⅲをご愛用ください。ランニングコストを最大50％低減します。

50% 削減





AP-CVD/R-1０１ ／PE-CVD/TEOS/ R-1０１ ／LP-CVD/ R-3０１ ／Metal Etcher/ R-4０１
D/Ech＋エレメント交換 ／Implant＋エレメント交換 ／CVD + 乾式除害剤交換 ／D/Ech + 乾式除害剤交換
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