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AP-CVD/R-101
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Metal Etcher/ R-401
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CVD＋乾式除害剤交換
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実例 ７　：　T社/AP-CVD/乾式除害装置/薬剤交換費
【改善前 排気ライン】
真空ポンプ　：　荏原製
フィルター　：　TT社製　内臓フィルター
乾式除害装置　：　TT社製
薬剤　：　TT社製吸着剤

【改善後 排気ライン】
真空ポンプ　：　荏原製
フィルター　：　TT社製　内臓フィルター
乾式除害装置　：　TT社製
薬剤　：　当社製吸着剤　JESCO-1



各種プロセスに対応する当社配合薬剤を取り揃えております。

50% 削減






AP-CVD/R-1０１ ／PE-CVD/TEOS/ R-1０１ ／LP-CVD/ R-3０１ ／Metal Etcher/ R-4０１
D/Ech＋エレメント交換 ／Implant＋エレメント交換 ／CVD + 乾式除害剤交換 ／D/Ech + 乾式除害剤交換
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