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実例4 : T社 / Metal-Etcher / R-401
【改善前 排気ライン】
真空ポンプ : 荏原製
フィルター : T社製 熱成形フィルター
乾式除害装置 : 昭電製

【改善後 排気ライン】
真空ポンプ : 荏原製
フィルター : 当社製 エコトラッパー R-401
乾式除害装置 : 昭電製



乾式除害吸着筒内で粉体による吸着剤の目詰まりを起こし、ドライポンプの排圧異常により装置停止することがしばしば発生しました。他社の熱成形フィルターを使用されていましたが、寿命が短い上にメンテ費も安くなかったこともあり、改善テーマに上がりました。

当社のエコトラッパー ミニ R-401を採用し、粉体問題を解消することができ、排圧異常による装置停止を解消しました。




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